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LMG2A系列直線電機

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點擊次數:1118 更新時間:2019年10月19日10:45:05 打印此頁 關閉

特征


應用



最大行程4m x 4m 
以線性滑軌或空氣軸承架構之定位平臺
良好接地設計防止噪聲干擾 
Z
向震動可達奈米等級以下
最大速度可達5m/s 
標準重現精度1um或以下
位置回饋系統分辨率最低可達50nm

半導體設備
自動化搬送
FPD
設備
太陽能制造設備
PCB
設備
水刀設備
鉆石切割產業
AOI
檢測設備
工具機


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